硬損傷又稱(chēng)“突發(fā)性完全失效”、“一次性損壞”，比例約占10%。表現為器件電參數突然劣化，失 去原有功能。主要原因是靜電放電造成過(guò)壓使得介質(zhì)被擊穿，或過(guò)流使得內部電路金屬導線(xiàn)熔斷、硅 片局部融化等。硬損傷可通過(guò)常規的性能測試手段及時(shí)發(fā)現，相對軟失效而言危害要小得多。 

軟損傷又稱(chēng)“潛在性緩慢失效”、“多次損傷累積后失效”，比例約占90%。受到軟損傷的器件，雖然 當時(shí)各類(lèi)電參數仍合格，然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統，可靠性變差， 可能會(huì )在后續過(guò)程中（直至終用戶(hù)）繼續遭受ESD軟損傷或其它過(guò)應力損傷積累而過(guò)早地失效。由于 軟損傷是潛在的，運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來(lái)，特別是器件被裝入整機產(chǎn)品之后，因此具 有更大的危害性。這些產(chǎn)品流入市場(chǎng)后的維護成本和造成的其它損失，將比在生產(chǎn)中發(fā)生的直接損失 要放大幾十甚至上百倍。